ការព្យាបាលការបន្សាបជាតិខ្លាញ់នៃបន្ទះស្ពាន់រមូរ៖ ដំណើរការស្នូល និងការធានាសំខាន់សម្រាប់ដំណើរការថ្នាំកូត និងស្រទាប់កម្ដៅ

ក្រដាស់ស្ពាន់រមូរគឺជាសម្ភារៈស្នូលមួយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច ហើយផ្ទៃ និងអនាម័យខាងក្នុងរបស់វាកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវភាពជឿជាក់នៃដំណើរការខាងក្រោមដូចជាការស្រោប និងការបិទភ្ជាប់កម្ដៅ។ អត្ថបទនេះវិភាគយន្តការដែលការព្យាបាលដោយការបន្សាបជាតិខ្លាញ់ធ្វើឱ្យប្រសិទ្ធភាពនៃបន្ទះស្ពាន់រមូរប្រសើរឡើងទាំងពីទស្សនៈផលិតកម្ម និងការអនុវត្ត។ ដោយប្រើទិន្នន័យជាក់ស្តែង វាបង្ហាញពីភាពសម្របខ្លួនរបស់វាទៅនឹងសេណារីយ៉ូដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ CIVEN METAL បានបង្កើតដំណើរការបន្សាបជាតិខ្លាញ់ជ្រៅដែលមានកម្មសិទ្ធិ ដែលបំបែកឧបសគ្គឧស្សាហកម្ម ដោយផ្តល់នូវដំណោះស្រាយបន្ទះស្ពាន់ដែលមានភាពជឿជាក់ខ្ពស់សម្រាប់ការផលិតអេឡិចត្រូនិចកម្រិតខ្ពស់។

១. ស្នូលនៃដំណើរការបន្សាបជាតិខ្លាញ់៖ ការដកយកជាតិខ្លាញ់ផ្ទៃ និងជាតិខ្លាញ់ខាងក្នុងចេញពីរដង

១.១ បញ្ហាប្រេងដែលនៅសេសសល់ក្នុងដំណើរការរំកិល

ក្នុងអំឡុងពេលផលិតបន្ទះស្ពាន់រមូរ ដុំស្ពាន់ឆ្លងកាត់ជំហានរមូរច្រើនដងដើម្បីបង្កើតជាសម្ភារៈបន្ទះស្ពាន់។ ដើម្បីកាត់បន្ថយកំដៅកកិត និងការសឹករលុង ប្រេងរំអិល (ដូចជាប្រេងរ៉ែ និងអេស្ទ័រសំយោគ) ត្រូវបានប្រើរវាងរមូរ និងបន្ទះស្ពាន់ផ្ទៃ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ដំណើរការនេះនាំឱ្យមានការរក្សាជាតិខ្លាញ់តាមរយៈផ្លូវសំខាន់ពីរ៖

• ការស្រូបយកផ្ទៃក្រោមសម្ពាធរំកិល ស្រទាប់ប្រេងខ្នាតមីក្រូន (កម្រាស់ 0.1-0.5μm) ស្អិតជាប់នឹងផ្ទៃបន្ទះស្ពាន់។
• ការជ្រៀតចូលខាងក្នុងអំឡុងពេលខូចទ្រង់ទ្រាយរំកិល បន្ទះស្ពាន់វិវត្តទៅជាពិការភាពមីក្រូទស្សន៍ (ដូចជាការផ្លាស់ទីតាំង និងចន្លោះប្រហោង) ដែលអនុញ្ញាតឱ្យម៉ូលេគុលខ្លាញ់ (ខ្សែសង្វាក់អ៊ីដ្រូកាបូន C12-C18) ជ្រាបចូលទៅក្នុងសន្លឹកអាលុយមីញ៉ូមតាមរយៈសកម្មភាពសរសៃឈាមតូចៗ ដែលឈានដល់ជម្រៅ 1-3 μm។

១.២ ដែនកំណត់នៃវិធីសាស្ត្រសម្អាតបែបប្រពៃណី

វិធីសាស្ត្រសម្អាតផ្ទៃធម្មតា (ឧទាហរណ៍ ការលាងសម្អាតអាល់កាឡាំង ការជូតអាល់កុល) យកតែស្រទាប់ប្រេងលើផ្ទៃចេញ ដោយសម្រេចបានអត្រានៃការលុបចេញប្រហែល៧០-៨៥%ប៉ុន្តែគ្មានប្រសិទ្ធភាពប្រឆាំងនឹងជាតិខ្លាញ់ដែលស្រូបយកពីខាងក្នុងទេ។ ទិន្នន័យពិសោធន៍បង្ហាញថា បើគ្មានការសម្អាតជាតិខ្លាញ់ឱ្យបានជ្រៅទេ ជាតិខ្លាញ់ខាងក្នុងនឹងលេចចេញមកលើផ្ទៃវិញបន្ទាប់ពី៣០ នាទី នៅសីតុណ្ហភាព ១៥០°Cជាមួយនឹងអត្រានៃការដាក់ឡើងវិញនៃ០,៨-១,២ ក្រាម/ម៉ែត្រការ៉េបណ្តាលឱ្យមាន "ការបំពុលបន្ទាប់បន្សំ"។

១.៣ របកគំហើញបច្ចេកវិទ្យាក្នុងការបន្សាបជាតិខ្លាញ់យ៉ាងជ្រៅ

ក្រុមហ៊ុន CIVEN METAL មានបុគ្គលិកជាច្រើននាក់“ការស្រង់ចេញគីមី + ការធ្វើឱ្យសកម្មដោយអ៊ុលត្រាសោន”ដំណើរការផ្សំ៖

1. ការស្រង់ចេញដោយគីមីសារធាតុ chelating ផ្ទាល់ខ្លួន (pH 9.5-10.5) បំបែកម៉ូលេគុលខ្លាញ់ខ្សែវែង បង្កើតបានជាស្មុគស្មាញរលាយក្នុងទឹក។
2. ជំនួយអ៊ុលត្រាសោនអ៊ុលត្រាសោនប្រេកង់ខ្ពស់ 40kHz បង្កើតឥទ្ធិពល cavitation បំបែកកម្លាំងចងរវាងខ្លាញ់ខាងក្នុង និងបន្ទះស្ពាន់ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពរំលាយខ្លាញ់។
3. ការសម្ងួតដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលីការខ្សោះជាតិទឹកយ៉ាងឆាប់រហ័សនៅសម្ពាធអវិជ្ជមាន -0.08MPa ការពារការកត់សុី។

ដំណើរការនេះកាត់បន្ថយសំណល់ខ្លាញ់ទៅ≤5មីលីក្រាម/ម៉ែត្រការ៉េ(បំពេញតាមស្តង់ដារ IPC-4562 ≤15mg/m²) សម្រេចបានប្រសិទ្ធភាពនៃការដកយកចេញ > 99%សម្រាប់ជាតិខ្លាញ់ដែលស្រូបយកពីខាងក្នុង។

2. ផលប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់នៃការព្យាបាលការលុបជាតិខ្លាញ់លើដំណើរការថ្នាំកូត និងដំណើរការឡាមីណេតកម្ដៅ

2.1 ការបង្កើនភាពស្អិតក្នុងកម្មវិធីថ្នាំកូត

សម្ភារៈថ្នាំកូត (ដូចជាសារធាតុស្អិត PI និងសារធាតុ photoresists) ត្រូវតែបង្កើតជាចំណងកម្រិតម៉ូលេគុលជាមួយបន្ទះស្ពាន់ខាញ់​ដែល​នៅ​សេសសល់​នាំ​ឱ្យ​មាន​បញ្ហា​ដូច​ខាងក្រោម៖

• ថាមពលអន្តរមុខថយចុះ: ភាពមិនជ្រាបទឹកនៃខ្លាញ់បង្កើនមុំទំនាក់ទំនងនៃដំណោះស្រាយថ្នាំកូតពី១៥° ដល់ ៤៥°, រារាំងការសើម។
• ចំណងគីមីដែលត្រូវបានរារាំងស្រទាប់ខ្លាញ់ទប់ស្កាត់ក្រុមអ៊ីដ្រូស៊ីល (-OH) នៅលើផ្ទៃទង់ដែង ដោយការពារប្រតិកម្មជាមួយក្រុមសកម្មជ័រ។

ការប្រៀបធៀបការអនុវត្តនៃបន្ទះស្ពាន់ដែលបានលាងសម្អាតខ្លាញ់ ធៀបនឹងបន្ទះស្ពាន់ធម្មតា៖

2.2 ភាពជឿជាក់កាន់តែប្រសើរឡើងក្នុងការបិទភ្ជាប់ដោយកម្ដៅ

អំឡុងពេល​ស្រទាប់​សីតុណ្ហភាព​ខ្ពស់ (១៨០-២២០°C) ខ្លាញ់​ដែល​នៅ​សេសសល់​ក្នុង​បន្ទះ​ស្ពាន់​ធម្មតា​នាំ​ឱ្យ​មាន​ការ​ខូច​ខាត​ច្រើន​ដង៖

• ការបង្កើតពពុះ: ខ្លាញ់ដែលហួតបង្កើតពពុះ 10-50μm(ដង់ស៊ីតេ >50/សង់ទីម៉ែត្រការ៉េ)។
• ការបែកខ្ញែករវាងស្រទាប់ខ្លាញ់កាត់បន្ថយកម្លាំង van der Waals រវាងជ័រអេប៉ុកស៊ី និងបន្ទះស្ពាន់ ដែលកាត់បន្ថយកម្លាំងរបកដោយ៣០-៤០%.
• ការបាត់បង់ឌីអេឡិចត្រិចខ្លាញ់សេរីបណ្តាលឱ្យមានការប្រែប្រួលថេរឌីអេឡិចត្រិច (ការប្រែប្រួល Dk >0.2)។

បន្ទាប់​ពីរយៈពេល 1000 ម៉ោង នៃការទុំនៅសីតុណ្ហភាព 85°C/85% RH, ស៊ីវិន មេតាលបន្ទះស្ពាន់ការតាំងពិព័រណ៍៖

• ដង់ស៊ីតេពពុះ: <5/សង់ទីម៉ែត្រគូប (មធ្យមភាគឧស្សាហកម្ម >30/សង់ទីម៉ែត្រគូប)។
• កម្លាំង​របក: រក្សា១.៦ អិន/សង់ទីម៉ែត្រ(តម្លៃដំបូង១.៨ អិន/សង់ទីម៉ែត្រអត្រារិចរិលត្រឹមតែ 11%) ប៉ុណ្ណោះ។
• ស្ថេរភាពឌីអេឡិចត្រិច: ការប្រែប្រួល Dk ≤0.05, កិច្ចប្រជុំតម្រូវការប្រេកង់រលកមីលីម៉ែត្រ 5G.

៣. ស្ថានភាពឧស្សាហកម្ម និងជំហរស្តង់ដាររបស់ CIVEN METAL

៣.១ បញ្ហាប្រឈមនៃឧស្សាហកម្ម៖ ការធ្វើឱ្យដំណើរការសាមញ្ញដោយចំណាយតិច

លើសពី90% នៃក្រុមហ៊ុនផលិតបន្ទះស្ពាន់រមូរធ្វើឱ្យដំណើរការមានភាពសាមញ្ញដើម្បីកាត់បន្ថយថ្លៃដើម ដោយអនុវត្តតាមលំហូរការងារជាមូលដ្ឋាន៖

ការរំកិល → ការលាងសម្អាតដោយទឹក (ដំណោះស្រាយ Na₂CO₃) → ការសម្ងួត → ការរុំ

វិធីសាស្ត្រនេះគ្រាន់តែយកខ្លាញ់លើផ្ទៃចេញប៉ុណ្ណោះ ជាមួយនឹងការប្រែប្រួលនៃភាពធន់នៃផ្ទៃក្រោយពេលលាងសម្អាត។±១៥%(ដំណើរការរបស់ CIVEN METAL រក្សាបាននូវ±៣%).

៣.២ ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យគុណភាព “គ្មានកំហុស” របស់ CIVEN METAL

• ការត្រួតពិនិត្យតាមអ៊ីនធឺណិតការវិភាគ​ពន្លឺ​កាំរស្មីអ៊ិច (XRF) សម្រាប់​ការរកឃើញ​ធាតុ​សំណល់​លើ​ផ្ទៃ​ជាក់ស្តែង (S, Cl ជាដើម)។
• ការធ្វើតេស្តភាពចាស់លឿន: ការក្លែងធ្វើខ្លាំង២០០អង្សាសេ/២៤ម៉ោងលក្ខខណ្ឌដើម្បីធានាបាននូវការលេចចេញជាតិខ្លាញ់ឡើងវិញសូន្យ។
• ការតាមដានដំណើរការពេញលេញ៖ រមូរនីមួយៗរួមមានលេខកូដ QR ដែលភ្ជាប់ទៅប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការសំខាន់ៗចំនួន ៣២(ឧទាហរណ៍ សីតុណ្ហភាព​កម្ចាត់​ខ្លាញ់ ថាមពល​អ៊ុលត្រាសោន)។

៤. សេចក្តីសន្និដ្ឋាន៖ ការព្យាបាលដោយការបន្សាបជាតិខ្លាញ់ — មូលដ្ឋានគ្រឹះនៃការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិចលំដាប់ខ្ពស់

ការព្យាបាល​សម្អាត​ខ្លាញ់​យ៉ាង​ជ្រៅ​លើ​បន្ទះ​ស្ពាន់​រមូរ​មិន​ត្រឹម​តែ​ជា​ការ​ធ្វើ​ឲ្យ​ប្រសើរ​ឡើង​នូវ​ដំណើរការ​ប៉ុណ្ណោះ​ទេ ប៉ុន្តែ​វា​ជា​ការ​សម្រប​ខ្លួន​ទៅ​នឹង​កម្មវិធី​នា​ពេល​អនាគត។ បច្ចេកវិទ្យា​ដ៏​ជោគជ័យ​របស់ CIVEN METAL ជួយ​បង្កើន​អនាម័យ​បន្ទះ​ស្ពាន់​ដល់​កម្រិត​អាតូមិក ដោយ​ផ្តល់​នូវការធានាកម្រិតសម្ភារៈសម្រាប់ការតភ្ជាប់ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ (HDI), សៀគ្វីបត់បែនរថយន្តនិងវិស័យកម្រិតខ្ពស់ផ្សេងទៀត។

នៅក្នុងយុគសម័យ 5G និង AIoTមានតែក្រុមហ៊ុនដែលចេះគ្រប់គ្រងប៉ុណ្ណោះបច្ចេកវិទ្យាសម្អាតស្នូលអាចជំរុញការច្នៃប្រឌិតនាពេលអនាគតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មបន្ទះស្ពាន់អេឡិចត្រូនិច។

(ប្រភពទិន្នន័យ៖ ឯកសារសបច្ចេកទេស CIVEN METAL V3.2/2023, ស្តង់ដារ IPC-4562A-2020)

អ្នកនិពន្ធ៖ Wu Xiaowei (សន្លឹកស្ពាន់រមូរវិស្វករបច្ចេកទេស បទពិសោធន៍ 15 ឆ្នាំក្នុងឧស្សាហកម្ម)
សេចក្តីថ្លែងការណ៍រក្សាសិទ្ធិទិន្នន័យ និងការសន្និដ្ឋាននៅក្នុងអត្ថបទនេះគឺផ្អែកលើលទ្ធផលតេស្តមន្ទីរពិសោធន៍ CIVEN METAL។ ការចម្លងដោយគ្មានការអនុញ្ញាតត្រូវបានហាមឃាត់។